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    ECR線束離子源(ELBS-150)技術(shù)解析及應(yīng)用領(lǐng)域展望

    發(fā)布時間: 2023-09-12  點擊次數(shù): 556次

    摘要:
    ECR線束離子源(ELBS-150)是一種用于反應(yīng)離子束銑削設(shè)備的先進離子源。本文將介紹其特點、設(shè)備規(guī)格,并重點探討其在MEMS結(jié)構(gòu)高速銑削、磁頭銑削和高頻電路微調(diào)調(diào)整等應(yīng)用領(lǐng)域的潛力。

    QQ截圖20230912211933.jpg

    介紹:
    ECR線束離子源(ELBS-150)通過采用
    dute的磁路設(shè)計,能夠產(chǎn)生均勻且延展的離子束,這對于銑削設(shè)備的高效運行十分關(guān)鍵。其采用了新開發(fā)的大型同軸引入端子(7/16型)進行高功率微波驅(qū)動,可保證穩(wěn)定的離子束輸出。此外,由于采用了無金屬污染的電介質(zhì)襯里以及新開發(fā)的長壽命束電極,ELBS-150具備出色的可靠性和持久性。

    設(shè)備規(guī)格:

    • 光束尺寸:寬度150mm,提供廣泛的覆蓋范圍。

    • 光束能量:可調(diào)節(jié)范圍從100至2,000eV,滿足不同應(yīng)用需求。

    • 光束電流密度:最大可達10mA/cm2,為高效銑削提供充足的能量。

    • 連接同軸連接器標準:采用DIN 7/16標準,方便連接和集成。

    • 適用微波頻率:2.45GHz,與常用工業(yè)微波設(shè)備兼容。

    • 允許微波功率:最大500W,提供充足的能量供應(yīng)。

    • 冷卻方式:水冷,確保設(shè)備在長時間運行中保持合適的溫度。

    應(yīng)用實例:

    1. MEMS結(jié)構(gòu)高速銑削:ELBS-150可生成均勻且高能量的離子束,對于高速銑削微型機械系統(tǒng)(MEMS)結(jié)構(gòu)非常適用。它能夠精確去除材料,實現(xiàn)微細加工要求。

    2. 磁頭銑削:磁頭制造是一項非常復雜的工藝,ELBS-150的離子束可以對磁頭進行精細銑削,確保磁頭的幾何形狀和性能要求達到最佳狀態(tài)。

    3. 高頻電路微調(diào)調(diào)整:ELBS-150的高能量離子束可用于微調(diào)高頻電路,如微波集成電路(MMIC)和射頻功率放大器。通過微削和微調(diào),可以實現(xiàn)電路的精準調(diào)整,提升性能和可靠性。

    結(jié)論:
    ECR線束離子源(ELBS-150)以其均勻長離子束、高功率微波驅(qū)動和可靠性等優(yōu)勢,廣泛應(yīng)用于MEMS結(jié)構(gòu)高速銑削、磁頭銑削和高頻電路微調(diào)調(diào)整等領(lǐng)域。隨著技術(shù)的不斷發(fā)展,ELBS-150將在更多領(lǐng)域展現(xiàn)其價值,推動工業(yè)加工技術(shù)的進步和創(chuàng)新。


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