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    電子元件氧氣計(jì)-日本TORAY氧化鋯式氧氣計(jì)產(chǎn)品介紹

    發(fā)布時(shí)間： 2021-08-24　　點(diǎn)擊次數(shù)： 769次

    電子元件氧氣計(jì)-日本TORAY氧化鋯式氧氣計(jì)產(chǎn)品介紹

    MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860


    氧氣計(jì) MS-500

    MS-500

    • 最多可同時(shí)測量 8 個(gè)點(diǎn)

    • 可以顯示從 ppm 級到 99% 的各種濃度。

    • 適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備、真空設(shè)備等上。

    • 傳感器為直插式（NW 法蘭用于真空 16/25/40）

    • 高度耐用的傳感器采用特殊涂層，以進(jìn)一步提高耐用性。

    MS-500 設(shè)備規(guī)格

    測量原理氧化鋯濃縮電池供電
    形狀分離式（轉(zhuǎn)換器：壁掛式，傳感器：直插式）
    顯示方式數(shù)字4位顯示（濃度顯示）
    測量范圍0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2　10 -20 ~ 10 -0 atm
    自動(dòng)量程
    重復(fù)性在 ± 0.5% FS 0-1% 范圍內(nèi)或更多
    ± 1% FS 或更少或 ±
    0.1ppm更大 0-1% 范圍小于0-1ppm，atm 范圍超出保證濃度范圍
    測量點(diǎn)數(shù)1-8
    樣氣條件壓力10 -3～ 200 KPa（絕壓）
    流量0.5-5,000 mL/min 或 0 mL/min（自然擴(kuò)散狀態(tài)的測量）
    濕度露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
    溫度0-100℃
    其他不含腐蝕性氣體（氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等）、含有機(jī)硅的氣體、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。
    比較氣體氣氛
    錄音機(jī)輸出僅傳輸輸出
    傳輸輸出RS-232C
    報(bào)警輸出沒有
    預(yù)熱時(shí)間6分鐘內(nèi)
    尺寸MS-500（控制器）92 (W) x 44 (H) x 120 (D)（不包括突出部分）
    MS-510（轉(zhuǎn)換器）100 (W) x 40 (H) x 88 (D)（不包括突出部分）
    傳感器單元SD16NW全長100mm（感應(yīng)部分Φ11×39，本體部分Φ40×51）
    SD25NW全長100mm（感應(yīng)部分Φ11×42，本體部分Φ40×48）
    SD40NW全長100mm（感應(yīng)部分Φ11×41，本體部分Φ40×49）
    質(zhì)量MS-500（控制器）約0.6Kg
    MS-510（換能器）約0.5kg
    傳感器單元SD16NW約0.2Kg
    SD25NW約0.2Kg
    SD40NW約0.35Kg
    外部連接真空法蘭之一（NW16、25、40）
    使用的電源24VDC ± 10%

    氧氣計(jì)LC-450A、LC-450D

    LC-450A、LC-450D


    • 可以顯示從測量的ppm 水平到 99% 的廣泛濃度范圍。

    • 提高傳感器的耐用性
      氧傳感器經(jīng)過特殊處理以提高其耐用性。

    • 交流寬電源 AC100-240VAC (LC-450A)
      * LC-450D由24V DC驅(qū)動(dòng)

    • 緊湊且易于安裝
      深度比我們的傳統(tǒng)型號更短，并且不占用太多空間。

    • 符合 RoHS 指令的產(chǎn)品

    • CE標(biāo)志自我聲明產(chǎn)品
      EN61010-1：2002、EN61326：+A3：2003

    LC-450A 設(shè)備規(guī)格

    測量原理氧化鋯濃縮電池供電
    形狀桌面型/面板安裝型
    顯示方式數(shù)字4位顯示（濃度顯示）
    測量范圍0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2　10 -20 ~ 10 -0 atm 自動(dòng)量程
    重復(fù)性± 1% FS 0-1ppm內(nèi)，atm范圍超出保證濃度范圍
    抽樣方法內(nèi)置泵連續(xù)吸入型
    樣氣條件壓力加壓30KPa以下
    流量1,000-2,000 毫升/分鐘
    濕度露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
    溫度0-50℃
    其他不含腐蝕性氣體（氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等）、含有機(jī)硅的氣體、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。
    比較氣體氣氛
    錄音機(jī)
    輸出    		氧氣濃度輸出在 4-20mA 和 0-20mA 之間切換（可選 0-10V） 絕緣，負(fù)載電阻 550Ω 或更少
    記錄儀輸出范圍是滿量程，線性輸出到氧氣濃度
    輸出范圍0-99%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm 自動(dòng)/固定量程
    傳輸輸出RS-232C
    報(bào)警輸出FAIL（設(shè)備錯(cuò)誤）1分無電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量30VDC/AC以下，0.5A以下
    因設(shè)備異常接點(diǎn)閉合（接點(diǎn)動(dòng)作可變更）
    ALM（濃度報(bào)警）2 分（高 / 高）無電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量 30VDC/AC 以下，0.5A 以下，
    發(fā)生報(bào)警時(shí)接點(diǎn)閉合（接點(diǎn)動(dòng)作可變更）
    RDY（預(yù)熱信號）1分無電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量30VDC/AC以下，0.5A以下

    • 無電壓接點(diǎn)的最小開關(guān)容量為12V以上，無法處理微小負(fù)載。

    MRK（范圍標(biāo)記）輸出2分無電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量30VDC/AC以下，0.5A以下
    預(yù)熱時(shí)間5分鐘內(nèi)
    尺寸身體210 (W) x 134 (H) x 300 (D) mm（不包括突出部分）
    質(zhì)量約6kg
    氣體
    連接口    		入口RC1 / 4
    旁路輸出RC1 / 4
    奧特萊斯RC1 / 4
    使用的電源100-240VAC, 50VA (穩(wěn)定: 35VA) 50Hz / 60Hz

    LC-450D 設(shè)備規(guī)格

    測量原理氧化鋯濃縮電池供電
    形狀桌面型/面板安裝型
    顯示方式數(shù)字4位顯示（濃度顯示）
    測量范圍0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2　10 -20 ~ 10 -0 atm 自動(dòng)量程
    重復(fù)性± 1% FS 0-1ppm內(nèi)，atm范圍超出保證濃度范圍
    抽樣方法內(nèi)置泵連續(xù)吸入型
    樣氣條件壓力加壓30KPa以下
    流量~ 1,500L/分鐘
    濕度露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
    溫度0-50℃
    其他不含腐蝕性氣體（氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等）、含有機(jī)硅的氣體、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。
    比較氣體氣氛
    錄音機(jī)
    輸出    		氧氣濃度輸出0-10VDC，絕緣，負(fù)載電阻600kΩ或多個(gè)
    （可選：4-20mA的DC，絕緣，負(fù)載電阻550Ω或更?。?/span>
    記錄器輸出范圍是滿量程和線性輸出到氧濃度
    輸出范圍0-99%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm 自動(dòng)/固定量程
    傳輸輸出RS-232C
    報(bào)警輸出FAIL（設(shè)備錯(cuò)誤）1分無電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量30VDC/AC以下，0.5A以下
    因設(shè)備異常接點(diǎn)閉合（接點(diǎn)動(dòng)作可變更）
    ALM（濃度報(bào)警）2 分 (L / LL)無電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量 30VDC/AC 以下，0.5A 以下，
    發(fā)生報(bào)警時(shí)接點(diǎn)閉合（接點(diǎn)動(dòng)作可變更）
    RDY（預(yù)熱信號）1分無電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量 30VDC/AC 以下，0.5A 以下
    預(yù)熱運(yùn)行時(shí)接點(diǎn)閉合（接點(diǎn)動(dòng)作可變更）

    • 無電壓接點(diǎn)的最小開關(guān)容量為12V或20mA以上，無法處理微小負(fù)載。

    MRK（范圍標(biāo)記）輸出2分無電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量30VDC/AC以下，0.5A以下
    預(yù)熱時(shí)間5分鐘內(nèi)
    尺寸身體240 (W) x 134 (H) x 210 (D) mm（不包括突出部分）
    質(zhì)量約5公斤
    氣體
    連接口    		入口RC1 / 8
    旁路輸出RC1 / 8
    奧特萊斯RC1 / 8
    使用的電源24VDC ± 10%，1.25A（30VA，穩(wěn)態(tài)）

    氧氣計(jì)LC-860

    LC-860

    • 低濃度測量 可測量從
      ppb級到99%

    • 操作簡單
      按鍵操作簡單

    • 吹掃功能
      比較 氣體更穩(wěn)定，測量精度更高（帶吹掃功能的規(guī)格）。

    • 高可靠性傳感器 傳感器
      內(nèi)部也可進(jìn)行劣化防止處理（可選）

    LC-860 設(shè)備規(guī)格

    測量原理氧化鋯濃縮電池供電
    形狀桌面型/面板安裝型
    顯示方式數(shù)字6位顯示（濃度顯示）
    測量范圍0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2　10 -20 ~ 10 -0 atm
    自動(dòng)/固定量程
    重復(fù)性
    氧濃度在±1%FS以內(nèi)，小于1ppm和0-1ppm，atm范圍在保證濃度范圍之外
    抽樣方法內(nèi)置泵連續(xù)吸入型
    樣氣條件壓力加壓30KPa以下
    流量~ 1,500 毫升/分鐘
    濕度露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
    溫度0-50℃
    其他不含腐蝕性氣體（氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等）、含有機(jī)硅的氣體、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。
    比較氣體氣氛
    錄音機(jī)
    輸出    		氧氣濃度輸出4-20mA / 0-10V 4-20mA
    : 絕緣，負(fù)載電阻 600Ω 或更小
    0-10V: 絕緣，負(fù)載電阻 500Ω 或更大
    記錄儀輸出范圍是滿量程，線性輸出到氧濃度
    輸出范圍0-99%, 0-10%, 0-1%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm, 0-1ppm, 10 -20 -10 -0　或任何4個(gè)范圍的自動(dòng)/固定范圍
    傳輸輸出RS-232C
    報(bào)警輸出FAIL（設(shè)備錯(cuò)誤）1分無電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量24VDC/AC以下，0.1A以下
    因設(shè)備異常接點(diǎn)閉合（接點(diǎn)動(dòng)作可變更）
    ALM（濃度報(bào)警）2分無電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量 24VDC/AC 以下，0.1A 以下，
    發(fā)生報(bào)警時(shí)接點(diǎn)閉合（接點(diǎn)動(dòng)作可變更）
    RDY（預(yù)熱信號）1分無電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量 24VDC/AC 以下，0.5A 以下
    預(yù)熱動(dòng)作時(shí)接點(diǎn)閉合（接點(diǎn)動(dòng)作可變更）

    • 無電壓觸點(diǎn)的最小開關(guān)容量為12V以上，無法處理微小負(fù)載。

    MRK（范圍標(biāo)記）輸出3分無電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量24VDC/AC以下，0.1A以下
    預(yù)熱時(shí)間20分鐘內(nèi)
    尺寸身體288 (W) x 144 (H) x 400 (D) mm（不包括突出部分）
    質(zhì)量約10公斤
    氣體
    連接口    		入口RC1 / 8
    旁路輸出RC1 / 8
    奧特萊斯RC1 / 4
    使用的電源100-120VAC ± 10% 200VA 50Hz / 60Hz




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