日本pureron排氣過(guò)濾器FBA系列

日本pureron排氣過(guò)濾器FBA系列

排氣過(guò)濾器　FBA系列

制造半導(dǎo)體元器件裝置在裝填-閉鎖真空室（load-lock chamber）和傳送室（transfer chamber）里進(jìn)行真空破壞，那時(shí)候浮粒子會(huì)卷起來(lái)和發(fā)生過(guò)渡性亂流，這些都會(huì)導(dǎo)致晶片損壞。跟以往的方法：把氮?dú)饩徛卮颠M(jìn)到室內(nèi)—相比，只用FBA排氣過(guò)濾器就能夠避免那樣現(xiàn)象且提高生產(chǎn)率。

特點(diǎn)

• 全材質(zhì)用不銹鋼SUS316L
• 優(yōu)良的耐熱性
• *過(guò)濾精度
• 圓筒型過(guò)濾體可以從頂端和周?chē)寂艢?/li>

特點(diǎn)

• 全材質(zhì)用不銹鋼SUS316L
• 優(yōu)良的耐熱性
• *過(guò)濾精度
• 圓筒型過(guò)濾體可以從頂端和周?chē)寂艢?/li>

特點(diǎn)

• 全材質(zhì)用不銹鋼SUS316L
• 優(yōu)良的耐熱性
• *過(guò)濾精度
• 圓筒型過(guò)濾體可以從頂端和周?chē)寂艢?/li>

• 特點(diǎn)

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• 全材質(zhì)用不銹鋼SUS316L
• 優(yōu)良的耐熱性
• *過(guò)濾精度
• 圓筒型過(guò)濾體可以從頂端和周?chē)寂艢?/li>

• 特點(diǎn)

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• 全材質(zhì)用不銹鋼SUS316L
• 優(yōu)良的耐熱性
• *過(guò)濾精度
• 圓筒型過(guò)濾體可以從頂端和周?chē)寂艢?/li>