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日本fuji單組分密度計(jì)FUD-1 Model-13

日本fuji單組分密度計(jì)FUD-1 Model-13

更新日期:2024-05-15

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廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址:

簡(jiǎn)要描述:
日本fuji單組分密度計(jì)FUD-1 Model-13
該型號(hào)在保留 FUD-1 Model-13 的可維護(hù)性和高精度在線測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)的同時(shí),配備了用于半導(dǎo)體制造工藝的小型單元發(fā)射器。

日本fuji單組分密度計(jì)FUD-1 Model-13

產(chǎn)品概覽

該型號(hào)在保留 FUD-1 Model-13 的可維護(hù)性和高精度在線測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)的同時(shí),配備了用于半導(dǎo)體制造工藝的小型單元發(fā)射器。

單組分密度計(jì)的特點(diǎn)

實(shí)時(shí)濃度測(cè)量成為可能,并且易于構(gòu)建濃度控制系統(tǒng)。

  • 標(biāo)配模擬DC4-20mA和數(shù)字RS232C

  • 標(biāo)配測(cè)量誤差輸出和報(bào)警輸出

  • 標(biāo)配自診斷功能和錯(cuò)誤信息顯示

  • 緊湊輕便的單元式變送器可直接安裝在線路上

  • 由于使用 PFA 的接液部件的質(zhì)量和小輸出設(shè)計(jì),對(duì)化學(xué)溶液沒有影響。


優(yōu)點(diǎn)

  • 可進(jìn)行高精度連續(xù)測(cè)量

  • 免維護(hù),無(wú)需定期調(diào)整和校準(zhǔn)

  • 安裝方便,安裝過程中無(wú)需進(jìn)行各種調(diào)整

  • 通過實(shí)時(shí)輸出輕松反饋過程


用途

  • CMP工藝中的CMP漿料或氧化劑濃度控制等。

  • 稀釋過程中各種化學(xué)品的濃度控制(H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl等)

  • 清洗過程中清洗液濃度控制(HF、NH4OH、KOH、IPA等)

  • 蝕刻過程中蝕刻液濃度控制(HF、H2SO4等)



日本fuji單組分密度計(jì)FUD-1 Model-13

規(guī)格

格式FUD-1 Model-13
測(cè)量參數(shù)超聲波傳播速度/溫度
展示LCD(濃度/溫度/聲速/各種參數(shù))
輸出信號(hào)模擬DC4至20mA(可自由設(shè)定濃度值)
數(shù)字RS232C(濃度/溫度/聲速/錯(cuò)誤代碼)
報(bào)警 上限/下限測(cè)量錯(cuò)誤
電源AC100V-240V 50 / 60Hz(也可使用DC24V)
結(jié)構(gòu)體面板安裝型(符合 DIN 標(biāo)準(zhǔn))、板內(nèi)安裝型(可作為選項(xiàng)集成到防雨箱中)
環(huán)境溫度0~50℃RH 85%以下(不結(jié)露)
0~100℃特殊規(guī)格-10~160℃(100℃寬)
功能輸出范圍設(shè)置、報(bào)警輸出設(shè)置、密度顯示移動(dòng)平均、密度顯示偏移和增益設(shè)置功能、自診斷功能、故障保護(hù)功能、異常值取消
RS485輸出(不能與RS232C同時(shí)輸出)
選項(xiàng)溫度輸出(DC4-20mA)
渠道高達(dá) 10 通道
兼容發(fā)射器Model-13 : SA-20S26 / SA-20S27 / SA-20M5



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