日本optiworks 4D動態(tài)干涉儀PhaseCam6000
產品特點
“動態(tài)干涉儀"4D技術的超高速干涉測量(30微秒標準)
“動態(tài)干涉儀"可以在振動不可避免的地方以及移動物體和遠處的位置進行測量。樣品也可以測量。
輕巧緊湊
機身尺寸約為 15 x 15 x 9 厘米,重量約為 9 公斤。它非常便攜,可以安裝在任何地方。
光學系統高自由度的Twyman-Green干涉儀
各種發(fā)散光束透鏡,50mm/100mm擴束鏡(可選)
可輕松調整光軸的光學取景器
使用外部波長穩(wěn)定激光器提供多種光源選項
綜合分析軟件“4Sight™"
動態(tài)干涉測量法
傳統的移相干涉儀使用壓電元件等移動參考平面,獲取干涉條紋的圖像,并計算相位分布。單次測量至少需要100毫秒,在此期間干涉儀與測量樣品之間會發(fā)生相對振動和空氣波動,導致干涉條紋發(fā)生波動,導致測量誤差增加。為了防止這種情況,需要光學面板、防振裝置、擋風玻璃等。
4D Technology的動態(tài)干涉儀是一種劃時代的系統,以其“動態(tài)干涉測量"解決了此類問題。
在“動態(tài)干涉"中,無需機械移動參考平面,一次圖像數據采集即可獲得四幀相移干涉圖。由于對相機的每個像素進行相移,因此可以穩(wěn)定地收集數據,并且由于一次測量的時間可以縮短到 30 微秒,因此可以在干涉圖像因振動等而發(fā)生變化之前的瞬間進行測量.完成。
這使得可以在振動不可避免的環(huán)境中進行測量,測量遠處的樣品和移動物體,以及測量在室內進行環(huán)境試驗的樣品。
日本optiworks 4D動態(tài)干涉儀PhaseCam6000
“4Sight™"數據分析軟件
用于高級干涉儀的高級軟件。4D Technology 的 4Sight™ 被認為業(yè)界良好的干涉測量軟件。
數據采集
?可以在4Sight™測量控制臺查看實時圖像的同時進行調整
?多種數據采集模式,如單次、平均、連續(xù)、差分和突發(fā)(電影)
數據分析
?斜率、直方圖
?衍射分析(PSF、MTF、自協方差)
?幾何光學分析(點擴散強度分布、圓形或方形孔徑能量分布)
?澤尼克分析
?各種掩模函數
和其他自定義分析函數可以添加。