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日本sonic超聲波微量液體流量計μLF-300S 超聲波儀器
更新日期:2024-05-17
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廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
生產(chǎn)地址:
簡要描述:
日本sonic超聲波微量液體流量計μLF-300SIPA、純水、藥液等半導(dǎo)體制造工序中的微小區(qū)域的流量控制?
日本sonic超聲波微量液體流量計μLF-300S
IPA、純水、藥液等半導(dǎo)體制造工序中的微小區(qū)域的流量控制
?1ml/min起的微量流量測量
?通過數(shù)字信號處理的微量流量高精度測量
?傳感器部采用非接觸結(jié)構(gòu)有流體
?范圍廣
日本sonic超聲波微量液體流量計μLF-300S
產(chǎn)品規(guī)格
■ 微小液體流量計(分體式)
µLF-300S
模型 | μLF-300S + μLT-8I(1/8 英寸)或 μLF-300S + μLT-4I(1/4 英寸) |
測量原理 | 超聲波傳播時差法 |
待測液體 | 純水、水溶液、各種化學(xué)溶液 * 如果使用水以外的液體,請事先確認(rèn)。 |
適用流體溫度范圍 | 15°C 至 80°C *如果在 60°C 或更高溫度下使用,請?zhí)崆皺z查 |
流體壓力 | 0.5MPa以下 |
流體運動粘度 | 100mm^2/秒或更小 |
流量范圍 | 0 毫升/分鐘至 1000 毫升/分鐘 (μLF-300S + μLT-8I) 0 毫升/分鐘至 1000 毫升/分鐘 (μLF-300S + μLT-8I) |
測量精度 | ±0.5%RD (1/8 inch : 200 ~ 1000ml/min 條件:常溫、恒溫水) ±1ml/min (1/8 inch : 0 ~ 199ml/min) ±0.5%RD (1/4 inch : 800 ~ 4000ml/min 條件:常溫、恒溫水) ±4ml/min (1/4 inch : 0 ~ 799ml/min) |
重復(fù)性 | ±0.2%(純,液溫±0.5℃,30秒平均值) |
電源 | DC24V ±10% |
能量消耗 | 3.6W以下 |
重量 | 傳感器 240g,檢測器 70g |
尺寸 WxHxD(mm) | 傳感器 97 x 49 x 127 檢測器 90 x 25 x 20(不含管) |
檢測單元 | |
管材 | PFA(氟樹脂) |
管徑 | 1/8 英寸外徑:3.17 毫米,內(nèi)徑:2.17 毫米,1/4 英寸外徑:6.35 毫米,內(nèi)徑:4.35 毫米 |
結(jié)構(gòu)體 | 相當(dāng)于IP65 |
附屬電纜 | 5m,連接器連接 |
輸入部分 | |
數(shù)字輸出 | 4 線 RS-422、4 線 RS-485 |
模擬輸出 | 4-20mA(瞬時流量),負(fù)載電阻500Ω以下 |
集成脈沖輸出 | 1ch(集電極開路) |
報警輸出 | 1ch(集電極開路) |
接點輸入 | 1ch(零流量設(shè)置或累計清除) |
按鍵輸入 | 4 輸入鍵 |