日本進(jìn)口二流體噴嘴納米噴頭半導(dǎo)體行業(yè)用

在我們身邊的各種電子設(shè)備中使用的半導(dǎo)體。近來，半導(dǎo)體的重要性進(jìn)一步提高，與此相結(jié)合，半導(dǎo)體的品質(zhì)提高是必須的。在半導(dǎo)體制造裝置中，清洗硅片的半導(dǎo)體清洗裝置是去除導(dǎo)致半導(dǎo)體質(zhì)量下降的垃圾等異物的重要設(shè)備。在半導(dǎo)體清洗裝置中，在將純水和藥劑吹到硅片上的清洗工序中，多使用1流體和2流體的噴嘴。

附著在對(duì)象物上的異物和污垢，從0.1℉的垃圾中微量的重金屬原子、碳分子、油脂等各種各樣，其中也有至今為止的噴霧無法清洗、除去的東西。根據(jù)異物的不同有難以除去的東西，不能充分發(fā)揮作為清洗裝置的性能。另外，半導(dǎo)體清洗裝置的內(nèi)部，只有復(fù)雜而有限的空間，可以搭載的噴嘴有限。為此，本事例的顧客，尋找著①適合裝置的緊湊形狀，②清洗能力高確實(shí)能除去異物，③清洗時(shí)間能縮短的噴嘴。

特長(zhǎng)

微粒化特性に優(yōu)れた二流體ノズル

耐酸性、耐アルカリ性に優(yōu)れたPEEK樹脂を採(cǎi)用

低粘度から高粘度までの微粒化噴霧が可能

重量はわずか15g

液通路徑が大きく、詰まり対策に有効

日本進(jìn)口二流體噴嘴納米噴頭半導(dǎo)體行業(yè)用

耐食性に優(yōu)れ、粘性流體の微?；瘔T布に最適なPEEK型

二流體ノズル

半導(dǎo)體精密洗浄

純水噴霧

エッチングでの薬液使用

液晶製造裝置への組込み

日本進(jìn)口二流體噴嘴納米噴頭半導(dǎo)體行業(yè)用